中华人民共和国化工行业标准

HG/T 5552-5555—2019

造纸工业用二氧化钛、土壤修复用 过氧化氢、高纯氯化飆 和高纯工业品硝酸

(2019)

2020-07-01 实施

中华人民共和国工业和信息化部 发布

HG/T 5552—2019 造纸工业用二氧化钛

HG/T 5553—2019 土壤修复用过氧化氢

HG/T 5554—2019 高纯氯化锯

HG/T 5555—2019 高纯工业品硝酸

ICS 71.060. 30

HG

中华人民共和国化工行业标准

HG/T 5555—2019

高纯工业品硝酸

High-PUrity nitric acid for industrial USe

2020-07-0 1 实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

-AZ-        —a—

刖   H

本标准按照GB/T 1. 1—2009给出的规则进行起草。

本标准由中国石油和化学工业联合会提出。

本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员会(SAC/TC63/SC1)归口。

本标准起草单位：多氟多化工股份有限公司、四川金象赛瑞化工股份有限公司、浙江水知音环保 科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司、国家无机盐产品质量监督检验中心。

本标准主要起草人：郝建堂、薛旭金、施秀华、叶文豪、何文华、郭志刚、王明权、李旭初、俞 明华、杨裴、郭永欣、曹亚丽、范国强。

高纯工业品硝酸

警示一按GB 12268-2012第6章的规定，本产品主要危险性为腐蚀性物质，次要危险性为氧 化性物质，操作时应小心谨慎。使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出 所有可能的安全问题。使用者有责任釆取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的 条件。

1范围

本标准规定了高纯工业品硝酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和 贮存。

本标准适用于高纯工业品硝酸。该产品主要应用于太阳能光伏行业、液晶显示器件和半导体行业 制程的清洗和刻蚀。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB 190危险货物包装标志

GB/T 191—2008包装储运图示标志

GB/T 3143-1982液体化学产品颜色测定方法（HaZen单位一钮-钻色号）

GB/T 6678化工产品釆样总则

GB/T 6682-2008分析实验室用水规格和试验方法

GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T 11446. 1—2013 电子级水

GB 12268—2012危险货物品名表

化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备

3分子式和相对分子质量

分子式：HNO₃

相对分子质量：63. 01 （按2016年国际相对原子质量）

4分级

高纯工业品硝酸按用途分为3个等级:

(43)

——EL级：主要用于太阳能光伏行业及液晶显示器件的制造； -UP级：主要用于线宽为大于0. 50 μm集成电路的清洗； -UP-S级：主要用于线宽为0. 065 μm~0.50 μm集成电路的清洗。

5要求

5. 1外观：无色透明液体。

5. 2高纯工业品硝酸按本标准规定的试验方法检测应符合表1的规定。

表1技术要求

6试验方法

6. 1 一般规定

本标准所用的试剂和水，在没有注明其他要求时，均指分析纯试剂和GB/T 6682-2008中规定 的一级水。试验中所用的标准滴定溶液、杂质标准溶液、制剂和制品，在没有注明其他要求时，均按 HG/T 3696. 1、HG/T 3696. 2、HG/T 3696. 3 的规定制备。

6.2外观检验

在自然光下，将试样置于无色透明玻璃瓶或四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醵共聚物（PFA）瓶中， 用目视法判定外观。

6.3主含量的测定

6. 3. 1原理

以酚猷为指示剂，用氢氧化钠标准滴定溶液中和滴定，测得硝酸的质量分数。

6. 3.2试剂或材料

6. 3. 2. 1氢氧化钠标准滴定溶液：_C（NaOH）≡≡0.5 mol/L.

6. 3. 2. 2酚猷指示液：lg/L。

6.3.3试验步骤

取约1.5g样品，置于盛有约50mL水的已称量的带盖塑料三角瓶中，带盖称量，精确至0. 000 2 g₀ 加入2滴酚猷指示液，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至溶液呈红色并保持30 S不消失为终点。

6. 3.4试验数据处理

主含量以硝酸（HNo3）的质量分数Wl计，按公式（1）计算：

（V/1 OoO）CM_{XZlnn 0}.                              /,、

m

式中：

V—滴定试验溶液消耗氢氧化钠标准滴定溶液的体积的数值，单位为毫升（mL）；

C—氢氧化钠标准滴定溶液的浓度的准确数值，单位为摩尔每升（mol/L）；

M——硝酸的摩尔质量的数值，单位为克每摩尔（g∕mol） （M = 63.01）,

m——试料的质量的数值，单位为克（g）.

取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值应不大于0. 2%。

6.4色度的测定

量取50 mL试样，置于50mL比色管中，在白色背景下，沿比色管轴线方向观察，样品颜色不 得深于GB/T 3143—1982规定的色度标准10 HaZen单位。

6.5氯化物含量、磷酸盐含量、硫酸盐含量的测定

• 6. 5. 1原理

釆用色谱柱分离技术将稀释一定倍数硝酸样品的氯离子、磷酸根、硫酸根洗脱分离，并将大量的 硝酸根最后洗脱排废。用电导检测器检测分离岀的各阴离子的峰面积，査工作曲线上各阴离子含量和 对应的峰面积，计算各阴离子含量。

6. 5.2试剂或材料

6. 5. 2. 1氯化物标准使用溶液：ImL溶液含氯化物（Cl） O-OlOmg.

用移液管（枪）移取ImL按HG/T 3696. 2配制的氣化物标准溶液，置于IOo_mL容量瓶中，用 水稀释至刻度，摇匀。于4P保存，有效期为1个月。

6. 5. 2. 2磷酸盐标准使用溶液：ImL溶液含磷酸盐（POQ 0.010mg_β

用移液管（枪）移取ImL按HG/T 3696. 2配制的磷酸盐标准溶液，置于IOOmL容量瓶中，用 水稀释至刻度，摇匀。于4*C保存，有效期为1个月。

6. 5. 2. 3硫酸盐标准使用溶液：ImL溶液含硫酸盐（SO₄） 0.010 mg_o

用移液管（枪）移取ImL按HG/T 3696. 2配制的硫酸盐标准溶液，置于IOomL容量瓶中，用 水稀释至刻度，摇匀.于4*C保存，有效期为1个月。

6. 5. 2. 4 水：应符合 GB/T 11446.1—2013 中 EW-I 级规定。

6. 5.3仪器设备

6. 5. 3. 1离子色谱仪。

6. 5. 3. 1. 1离子色谱仪精密度：RSD<5⅝_o

6. 5. 3. 1. 2色谱柱：高容量阴离子交换柱（选择硝酸根最后出峰者）。

6. 5. 3. 1. 3检测器：电导检测器，若能确认有同样功能的其他检测器也可使用。

6. 5. 3. 1.4抑制器：高容量阴离子抑制器或者电化学自再生阴离子膜抑制器。

6. 5. 3. 2 移液枪及枪头：20/L〜200 /L、IooVL〜IoOO_fiL 和 0. 5 mL〜5 mL。

6. 5. 3. 3容量瓶：容积为IOomL,材质为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醒共聚物（PFA）。

6. 5. 4试验步骤

6. 5. 4. 1工作曲线溶液的配制

用适宜的移液管（枪）按表2的规定分别移取氯化物标准使用溶液、磷酸盐标准使用溶液和硫酸 盐标准使用溶液，置于一系列IoOmL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。

表2阴离子标准溶液移取量及工作曲线浓度范围

6. 5. 4. 2工作曲线的绘制

将离子色谱仪调整至最佳工作状态（推荐的操作条件参见附录A）,按仪器操作程序将工作曲线 溶液依次进样测定，以被测阴离子的浓度为横坐标、对应的阴离子的峰面积为纵坐标绘制工作曲线。

6. 5. 4. 3试样溶液的制备

于IOomL容量瓶中加入约20 mL水，置于天平上归零。根据试样中所含阴离子含量的不同，用 移液枪取适量（见表3）硝酸试样，缓慢注入容量瓶中，准确称量，精确至0.000 2 g.用水稀释至刻 度，摇匀配制成试样溶液。

表3阴离子含量测定试样级别与称样量

6. 5. 4. 4 测定

将离子色谱仪冲洗干净后，进试验溶液，根据试验溶液所测的峰面积，从工作曲线上査出各阴离 子的浓度。

同时做空白试验。空白试验除不加试料外，其他加入的试剂量与试验溶液完全相同。

6. 5.5试验数据处理

各阴离子的质量分数以u⅛计，数值以mg/kg表示，按公式（2）计算：

（PH-Po）XO. 10X10-3                          ,,

^Wii= m∕∖ 000

式中：

P_Z—从工作曲线上査得的试验溶液中各阴离子的浓度的数值，单位为微克每升（μg∕L）;

_PO―从工作曲线上査得的空白试验溶液中各阴离子的浓度的数值，单位为微克每升（μg∕D ; m—试料的质量的数值，单位为克（g）。

取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的相对偏差值应不大于10%。

6.6阳离子含量的测定

6.6. 1标准加入法（仲裁法）

6. 6. 1. 1 原理

在电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）上采用标准加入法测定试样中规定的各阳离子含量。

6.6. 1.2试剂或材料

6. 6. 1. 2. 1混合标准溶液I ： ImL溶液含阳离子IO _μs.

用移液管（枪）各移取ImL按HG/T 3696. 2配制的阳离子标准溶液（Li、Na、Mg、Al、K、 Ca, V、Cr, Mn, Fe、Ni、Cu, Zn, As、Cd、Ba、Pb）,置于同一 IoomL 容量瓶中，用水稀释至 刻度，摇匀。

6.6. 1. 2. 2混合标准溶液∏_i ImL溶液含阳离子10 μg.

用移液管（枪）各移取1 mL按HG/T 3696. 2配制的阳离子标准溶液（B、Ti）,置于同一 100 mL容量瓶中，用水稀释至刻度，揺匀。

6. 6. 1.2.3混合标准溶液ID： Im L溶液含阳离子IO_fZg。

用移液管（枪）各移取ImL按HG/T 3696. 2配制的阳离子标准溶液（Sn, Sb）,置于同一 IOOmL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀.

6.6. 1.2.4混合标准使用溶液：ImL溶液中含阳离子1

用移液管（枪）各移取5 mL混合标准溶液I、混合标准溶液II、混合标准溶液DI,置于同一 50 mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。现用现配。

6. 6. 1. 2. 5 水:应符合 GB/T 11446. 1—2013 中 EW-I 级规定。

6. 6. 1.3仪器设备

6. 6. 1. 3. 1电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）。

6. 6. 1. 3. 2 移液枪：10 _fzL~100 _fzL, 100 _μL~l 000 _μL<,

6.6. 1.3.3容量瓶：50mL、IoOmL,材质为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基髄共聚物（PFA）。

6. 6. 1.4 试验步骤

6.6. 1.4. 1工作曲线溶液的配制

于4个50 mL容量瓶中加入约IOmL水，置于天平上归零。根据试样中所含阳离子浓度的不同， 用移液枪准确移取4份同样质量的适量（见表4）试样，精确至0. 000 2 g.再分别准确移取O/xL、 IOol_JlL、200 _μL, 300 _μL混合标准使用溶液，分别置于4个50 mL容量瓶中，用水稀释至刻度， 摇匀。

对于UP-S级硝酸试样，混合标准使用溶液的加入量为分别准确移取0 nL、20 _μL, 40 _μL. 60 “L混合标准使用溶液。

表4阳离子含量测定试样级别与称样量（标准加入法）

6.6. 1.4.2 测定

按电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）操作规程打开仪器（推荐的分析操作条件参见附录B）, 待仪器处于稳定状态后，以水为空白，对工作曲线溶液进行测定。分别以被测各阳离子的浓度为横坐 标、对应的响应值为纵坐标绘制工作曲线。将曲线反向延长与横坐标相交，交点即为待测阳离子的浓 度（μg∕D.

6. 6. 1.4.3试验数据处理

各阳离子含量以质量分数S3,计，数值以μg∕kg表示，按公式（3）计算：

_（O,× 0.05

^{υJii =} _m∕∖ 000                ........................⑶

式中：

P_i—从工作曲线上査得的试验溶液中各被测阳离子的浓度的数值，单位为微克每升WL）_）

m——试料的质量的数值，单位为克（g）。

取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的相对偏差值UP-S级应不大于 50%、UP级应不大于20%、EL级应不大于20⅜<,

6. 6.2标准曲线法

6. 6. 2. 1 原理

在电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）上采用标准曲线法测定试样中规定的各阳离子含量。

6. 6. 2. 2试剂或材料

6. 6. 2. 2. 1硝酸：阳离子含量小于O. lμg∕L.

6. 6. 2. 2. 2混合标准溶液I ： ImL溶液含阳离子IO_fXg。

用移液管（枪）各移取ImL按HG/T 3696. 2配制的阳离子标准溶液（Li、Na、Mg、Al、K、 Ca、V、Cr、Mn, Fe, Ni、Cu、Zn, As、Cd、Ba、Pb）,置于同一 IoomL 容量瓶中，用水稀释至 刻度，摇匀。

6. 6. 2. 2. 3混合标准溶液∏ ： 1 mL溶液含阳离子IO_fXgo

用移液管（枪）各移取ImL按HG/T 3696. 2配制的阳离子标准溶液（B、Ti）,置于同一 IOomL 容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。

6. 6. 2. 2. 4混合标准溶液DI ： ImL溶液含阳离子10 _μg.

用移液管（枪）各移取ImL按HG/T 3696. 2配制的阳离子标准溶液（Sn、Sb）,置于同一 IOOmL 容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。

6. 6. 2. 2. 5混合标准使用溶液I： ImL溶液中含阳离子1 _fχg°

用移液管（枪）各移取5mL混合标准溶液I、混合标准溶液口、混合标准溶液皿，置于同一 50mL 容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。现用现配。

6. 6. 2. 2. 6混合标准使用溶液口： ImL溶液中含阳离子0.1 _μg₀

用移液管（枪）各移取0.5 m L混合标准溶液I、混合标准溶液R、混合标准溶液皿，置于同一 50 mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。现用现配。

6. 6. 2. 2. 7 水：应符合 GB/T 11446.1—2013 中 EW-I 级规定。

6. 6. 2. 3仪器设备

6. 6. 2. 3. 1电感耦合等离子质谱仪（ICP-MS）.

6. 6. 2. 3. 2 移液枪：10 μL~IOO “L, IOO μL~l OOO μL, 0. 5 mL~5 mL.

6. 6. 2. 3. 3容量瓶：50mL,材质为四氟乙烯全氟烷氧基乙烯基醜共聚物（PFA）_O

6. 6. 2. 4 试验步骤

6. 6. 2. 4. 1试验溶液的制备

于50 mL容量瓶中加入约IomL水，置于天平上归零。根据试样中所含阳离子浓度的不同，准 确称取适量（见表5）试样，精确至O. OOO 2 g.用水稀释至刻度，摇匀。

表5阳离子含量测定试样级别与称样量（标准曲线法）

6. 6. 2. 4. 2工作曲线溶液的配制

用适宜的移液管（枪）按表6的规定分别移取混合标准使用溶液I或口，置于一系列50 mL容 量瓶中，加入与试样称样量等量的硝酸试剂，再用水稀释至刻度，摇匀，配制工作曲线的标准溶液。

表6混合标准使用溶液移取量及工作曲线浓度范围

6. 6. 2. 4. 3工作曲线的绘制

按电感耦合等离子质谱仪（ICP-MS）操作规程打开仪器（推荐的分析操作条件参见附录B）,待

8                                                           （50） 仪器处于稳定状态后，以水为空白，对工作曲线溶液进行测定，以被测各阳离子的浓度为横坐标、对 应的响应值为纵坐标绘制工作曲线。

6. 6. 2. 4.4 测定

同样仪器条件下测定试验溶液中各阳离子的响应值，在工作曲线上査出试样溶液中被测阳离子的 质量浓度(μg∕L).

6. 6. 2. 5试验数据处理

各阳离子含量以质量分数W3,计，数值以μg∕kg表示，按公式(4)计算：

_Pi X 0. 05

^w3∙=T√ΓδδF             ........................ ^U)

式中：

P_i——由工作曲线上査得的所取试验溶液中各被测阳离子的浓度的数值，单位为微克每升(fzg∕L)； m——试料的质量的数值，单位为克(g).

取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的相对偏差值UP-S级应不大于 50%、UP级应不大于20%、EL级应不大于20%。

6.7颗粒的测定

6.7. 1原理

将光束穿过待测液体，由光电探测器接收颗粒产生的光散射光能，从而确定颗粒的大小，并根据 一定时间内接收的脉冲数确定颗粒数。

6. 7.2试剂或材料

水：应符合GB/T 11446. 1—2013中EW-I级规定。

6. 7.3仪器设备

液体颗粒计数仪。

• 6. 7.4试验步骤

取约20OmL试样，置于25O_mL样品瓶中，静置30 min以上，按照颗粒计数仪的操作手册开机 进入待测状态，测试时先用水清洗管路，再用试样清洗，然后抽取一定量的试样进入仪器分析，启动 测定程序，测出颗粒粒径和相对应的颗粒数。

取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的相对偏差值应不大于20%.

7检验规则

• 7. 1本标准规定的所有项目为出厂检验项目。

7.2用相同材料、基本相同的生产条件、连续生产或同一班组生产的同一级别的高纯工业品硝酸为 一批。槽罐灌装时，每槽罐为一批。每批产品不超过30 t。

7.3按照GB/T 6678的规定确定采样单元数进行采样。取样应在洁净环境中进行，先打开循环泵使 溶液混匀，再从取样口取样。所取样品不得少于500 mL,混合均匀，装入两个清洁、干燥的四氟乙

(51)                                                           9

烯-全氟烷氧基乙烯基醍共聚物(PFA)容器中。瓶上粘贴标签，注明：生产厂名、产品名称、等级、 批号、采样日期和采样者姓名.一瓶作为实验样品；另一瓶保存备査，保留时间由生产厂根据实际需 要确定。

7.4检验结果中如有指标不符合本标准要求，应重新自两倍量的包装中釆样进行复验，复验结果即 使只有一项指标不符合本标准要求，则整批产品为不合格。

7.5采用GB/T 8170规定的修约值比较法判定检验结果是否符合标准。

8 ⅛∣∖志、标签

• 8. 1高纯工业品硝酸包装桶上要有牢固、清晰的标志，内容包括：生产厂名、厂址、产品名称、等 级、净含量、批号或生产日期、本标准编号以及GB 190规定的“腐蚀性物质"标志和GB/T 191-2008规定的“向上"“怕晒”标志。

8.2每批出厂的高纯工业品硝酸都应附有安全技术说明书和质量证明书。质量证明书内容包括：生 产厂名、厂址、产品名称、等级、净含量、批号或生产日期、产品质量符合本标准的证明和本标准 编号。

9包装、运输和贮存

• 9. 1高纯工业品硝酸采用高密度聚乙烯(HDPE)或其他不会对产品产生二次污染的材料包装；也 可按用户要求包装。

9.2高纯工业品硝酸在运输过程中应有遮盖物，防止日晒、雨淋。运输过程中要确保容器避光、不 泄漏、不倒塌、不坠落、不损坏。运输时运输车辆应配备泄漏应急处理设备。

9.3高纯工业品硝酸应贮存于通风、避光、干燥的库房里，不得与各类酸、碱、有机物、可燃物、 有毒物品混贮。贮存区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。

附录A

（资料性附录）

推荐的离子色谱仪操作条件

推荐的离子色谱仪操作条件见表A. I_e

表A. 1推荐的离子色谱仪操作条件

附录 B

（资料性附录）

推荐的ICP-MS分析操作条件

推荐的ICP-MS分析操作条件见表B. 1.

表B. 1推荐的ICP-MS分析操作条件

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